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专利技术与设备
MEMS技术

三丰已经利用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技术,独立开发出可以测量极小孔内径的测头,实现了从前无法想象的精细部位测量。


UMAP probe / Micro EDM UMAP测头/Micro EDM
Micro EDM (micro electrical discharge machine) Micro EDM(micro electrical discharge machine:超微部电火花加工机)

MEMS技术的应用
应用MEMS技术开发出了各种传感器。

ICP etching equipment (for Si-MEMS) ICP刻印设备(用于Si-MEMS) Application examples Micro acceleration sensor 微?#22270;?#36895;传感器应用范例
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